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    氮化硅廠家安陽市紅興氮化材料有限公司主要產品有氮化硅鐵,氮化硅錳,并且質量有所保障,歡迎和我們聯系!   

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    氮化硅廠家

    氮化硅廠家

    產品型號:

    產品規格:

    產品介紹

    氮化硅的生產方法分析:

    電子級的氮化硅薄膜是通過化學氣相沉積或者等離子體增強化學氣相沉積技術制造的:
    3 SiH4(g) + 4 NH3(g) → Si3N4(s) + 12 H2(g)
    3 SiCl4(g) + 4 NH3(g) → Si3N4(s) + 12 HCl(g)
    3 SiCl2H2(g) + 4 NH3(g) → Si3N4(s) + 6 HCl(g) + 6 H2(g)
    如果要在半導體基材上沉積氮化硅,有兩種方法可供使用:
    利用低壓化學氣相沉積技術在相對較高的溫度下利用垂直或水平管式爐進行。
    等離子體增強化學氣相沉積技術在溫度相對較低的真空條件下進行。

    相關標簽:氮化硅廠,氮化硅廠家,

    來源:http://www.g0link.com/product747445.html

    時間:2021/7/5 9:02:51

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